У најсавременијим{0}}областима као што су нано-детекција, мерење вида, инспекција дефекта полупроводника и оптичка интерферометрија, референтна раван инспекцијских платформи директно одређује кредибилитет података за цео систем мерења. Како прецизна производња напредује ка субмикронским и нанометарским размерама, камене платформе обрађене конвенционалним техникама више не могу да задовоље захтеве врхунских-лабораторијских тестова и инспекције масовне{4}}производње. Многи произвођачи опреме су открили да чак и када су опремљени врхунским мерним сензорима, систематске грешке мерења ће се стално јављати ако референтна раван платформе за ношење одступи. Сходно томе, изградња гранитних инспекцијских платформи са равношћу на нанометарском-нивоу постала је кључни предмет истраживања за бројна предузећа опреме за прецизну инспекцију.
Ултра{0}}висока прецизност равности се не може постићи једним процесом обраде. То се постиже координацијом обраде сировина, контролом производног окружења, прогресивним млевењем и прецизном инспекцијом. Толеранцијски прозор за прецизност наноразмера је изузетно узак; сваки немар у процесу ће довести до незадовољавајућих показатеља равности. Већина фабрика за прераду камена на тржишту поседује капацитет обраде само на нивоу микрона-и немају пуну{5}}могућност контроле прецизности процеса. Са дугогодишњим искуством специјализованим за прилагођене ултра{7}}прецизне гранитне компоненте, УНПАРАЛЛЕЛЕД Гроуп се фокусира на подршку врхунској-опреми за инспекцију. Развили смо зрела комплетна производна решења за нанометарске гранитне платформе{10}}класе, испоручујући дугорочно-стабилна високо{12}}решења за референтне равни за произвођаче мерне опреме широм света.
Сирови материјали представљају предуслов за постизање врхунске равности. Обичан гранит пати од неравномерне дистрибуције зрна и ситних природних микропукотина, које лако изазивају локалну деформацију током континуиране обраде и дуготрајне-службе. Ми усвајамо саморазвијени црни гранит високе густине УНПАРАЛЛЕЛЕД®--УНПАРАЛЛЕЛЕД® високе густине са густо и равномерно распоређеним зрнцима стена. Сирови камен неће ући у обраду директно након улазне инспекције; уместо тога, подвргава се сегментираном третману старења. Продужено статичко складиштење ослобађа природно унутрашње напрезање камена како би се спречила постепена деформација плоче након завршне обраде, у основи избегавајући деградацију равности током времена. Строго разликујемо метролошки-гранит од инжењерског-гранита и никада не користимо{10}}јефтине камене материјале за производњу високо{11}}прецизних платформи за инспекцију.
Технологија брушења служи као основна процедура за постизање равности на наноразмери и означава линију раздвајања између обичних радионица за камен и ултра{0}}прецизних произвођача. Конвенционално полирање може само да достигне прецизност -микронског нивоа. Да би се постигли нанометарски стандарди, потребна је прогресивна вишестепена процедура брушења. Платформа узастопно пролази кроз грубо брушење, полу{6}}полуфино брушење, фино брушење и коначно ултра{7}}полирање. Величина зрна абразива смањује се корак по корак како би се елиминисали суптилни трагови алата настали из претходних процеса. Све завршне операције се изводе у радионици класе 10.000 са константном{{12}температуром и константном{13}влажношћу{14}прашином. Радионица је опремљена независним анти-вибрационим темељима и изолованим анти-рововима за максимално изоловање вибрацијских сметњи од спољног саобраћаја и производне опреме, обезбеђујући стабилне услове млевења.
Што је гранитна платформа већа, то је теже контролисати равност. За велике интегрисане платформе за инспекцију, дајемо предност технологији монолитног обликовања како бисмо избегли висинске разлике на спојевима узроковане склапањем више плоча. У складу са нацртима купаца, структурна обрада укључујући уграђене навојне чауре, жлебове за ожичење, референтне жлебове за позиционирање и рупе за вакуум усисавање је завршена унапред. Сви радови на бушењу и жлебовању су уређени током грубе обраде. Пост{4}}завршна обрада би изазвала варијације напона и оштетила ултра{5}}завршну раван. Цео процес обраде је у складу са међународно признатим метролошким стандардима ДИН и АСМЕ. Платформе ултра{10}високе прецизности Граде 00 и Граде 000 могу се прилагодити захтевима клијената.
Свеобухватна фазна инспекција пролази кроз цео производни ток платформи, а не само насумично узорковање након завршетка. После сваке процедуре брушења, техничари поново проверавају равност помоћу увезених{1}}нивоа високе прецизности и ласерских интерферометара. Сви инструменти за испитивање поседују важеће калибрационе сертификате издате од стране метролошких институција са потпуно следљивим мерним подацима. Коначна свеобухватна верификација се спроводи након производње. Радни предмет се држи непомичан на константној температури ради посматрања током одређеног временског периода. Испорука се организује тек након потврде да нема очигледне деформације, што гарантује да испоручена гранитна платформа одржава равност на нанометарском-нивоу током дуготрајног-радња на локацијама клијената.
Као произвођач прецизних компоненти који поседује ИСО сертификате троструког система управљања, ЦЕ и РоХС квалификације, поседујемо више од 20 међународно регистрованих патената и заштитних знакова. Одржавамо-дугорочну пројектну сарадњу са водећим предузећима у сектору полупроводника и оптичких мерења, као и са иностраним универзитетским лабораторијама. Осим платформи за инспекцију гранита, можемо да испоручимо одговарајуће прецизне гранитне вертикалне плоче З-осе, носаче у облику слова Л-, подножје ротационих столова, ваздушне{6}}базе и друге резервне делове. Користећи нашу географску близину луке Кингдао, ефикасно организујемо отпрему контејнера и скраћујемо циклусе испоруке за купце у иностранству.
Мерења на наноскали не могу толерисати ни најмање одступање од референтног податка. УНПАРАЛЛЕД се доследно придржава ригорозних стандарда ултра{1}}прецизне производње. Подржани врхунским сировинама, затвореним-токовима обраде у кругу и строгим вишестепеним системима за инспекцију, настављамо са производњом високо{5}}стабилних референтних платформи од гранита за глобалну индустрију прецизне инспекције. Континуирано оптимизујемо ултра{7}}технике ултрапрецизне обраде како бисмо помогли свим врстама врхунске опреме за инспекцију{8}}да постигну стабилне и прецизне перформансе мерења.