У областима платформи за линеарно кретање -брзине ваздуха-, платформи за оптичко скенирање и радних столова са ваздушним лежајевима за инспекцију плочица{2}}, свеобухватне перформансе подлоге директно одређују глаткоћу рада ваздушних лежајева, поновљивост кретања и дугорочну{3}} стабилност сервиса. Многи произвођачи опреме више пута упоређују легуру алуминијума, ливено гвожђе, керамику и разне камене материјале и већина њих на крају бира црни гранит високе{5}}густине као главну подлогу за ваздушне платформе. Опште је познато да гранит пружа одличне перформансе пригушења вибрација. Међутим, мало људи схвата да црни гранит поседује вишеструку снагу језгра која се не може поновити другим материјалима под посебним условима рада система ваздушних лежајева. УНПАРАЛЛЕЛЕД се дуго специјализовао за прилагођене ултра{9}}прецизне гранитне компоненте, снабдевајући основне оквире, греде и радне столове произвођачима опреме за ваздушне лежајеве широм света. Ослањајући се на богато практично искуство на пројекту, анализирамо јединствену вредност црног гранита за ваздушне носеће платформе.
Системи ваздушних лежајева остварују без{0}}бесконтактно кретање ослањајући се на танак слој гаса под високим{1}}притиском. Ситна деформација подлоге, површинске микро-таласаности и термичка деформација директно ће довести до подрхтавања клизача и флуктуације ваздушног притиска. Алуминијумска легура је лагана, али има релативно висок коефицијент термичког ширења, што платформу чини подложном деформацијама при променама температуре околине. Ливено гвожђе се може похвалити повољном крутошћу, али пати од ризика од корозије током-дуготрајне употребе, превелике сопствене-теже и ограниченог капацитета пригушења. Керамика показује изузетну термичку стабилност, али је монолитно обликовање великих{9}}величина тешко са високим трошковима обраде. Обичан гранит{11}}светле боје има неравномерну унутрашњу дистрибуцију минерала и већу порозност, што доводи до недовољног заптивања након површинске завршне обраде, што га чини неприкладним за континуирано снабдевање гасом ваздушних носећих конструкција. Насупрот томе, црни гранит УНПАРАЛЛЕЛЕД® карактерише густо и равномерно распоређени кристали са изузетно ниском порозношћу. Након ултра{14}}прецизног преливања, површина платформе постиже врхунску непропусност, стабилно одржава уједначен ваздушни филм, спречава локално цурење гаса под високим{15}}притиском и обезбеђује континуиран стабилан рад ваздушних лежајева.
Пригушивање вибрација је незаменљив индикатор за ваздушне платформе. -Повратно кретање велике брзине и спољни поремећаји у радионици стварају вибрације. Једном када се вибрације пренесу на радни сто са ваздушним{3}}носима, то ће дестабилизовати ултра-танак ваздушни филм, погоршати прецизност позиционирања и замутити оптичку слику. Вибрације полако опадају и дуже трају у металним материјалима. Поређења ради, црни гранит има инхерентна висока својства пригушења; енергија вибрација може се брзо апсорбовати унутрашњим кристалним интерфејсима камена, ефикасно смањујући ризик од резонанце. Посебно за платформе са ваздушним лежајевима велике брзине-путовања-, вибрације од ударца које се стварају током покретања и заустављања могу се брзо ублажити гранитном подлогом како би крај кретања био стабилан у сваком тренутку. Ово је кључни разлог зашто црни гранит има приоритет за платформе са ваздушним лежајевима које се користе у високо{11}}опреми за оптичку инспекцију и полупроводничку метрологију.
Димензиона термичка стабилност одређује капацитет опреме са ваздушним лежајевима за 2--неки непрекидни рад. Радионице доживљавају мање дневне температурне флуктуације, а континуирани рад опреме такође ствара малу топлоту. Црни гранит има ултра-низак коефицијент топлотног ширења, а његово термичко ширење и контракција под температурним варијацијама су далеко мањи од металних материјала. Платформе са ваздушним лежајевима садрже прецизне микропоре, жлебове за довод ваздуха и референтне површине за позиционирање. Свака суптилна деформација ће променити ваздушни зазор. Усвајање подлога од црног гранита минимизира варијације у дебљини ваздушног филма узроковане топлотним помаком, смањује померање тачности након дужег рада опреме и смањује честу калибрацију, прилагођавајући се 24--часовној непрекидној масовној инспекцији у фабрикама.
Платформе са ваздушним лежајевима обично резервишу жлебове за довод ваздуха, навојне монтажне рупе и зоне вакуумске адсорпције, намећући строге захтеве за обрадивост и структурну стабилност подлога. Врхунски црни гранит одликује умерена тврдоћа и хомогена текстура. Подржава сложену машинску обраду као што је жљебљење, бушење и издубљавање, и отпоран је на концентрацију локалног напрезања и пуцање након обраде. Осим тога, материјал је отпоран на оксидацију-и неосетљив на влагу, што елиминише потребу за додатним заштитним премазима и уклања ризик од контаминације ваздушног филма изазваног љуштењем премаза. Многи уређаји са ваздушним лежајевима су распоређени у чистим просторијама. Црни гранит одржава стабилна физичко-хемијска својства и неће испуштати честице загађивача, у складу са-стандардима производње без прашине у индустрији полупроводника и оптоелектронске индустрије.
Монолитно обликовање додатно побољшава примену црног гранита. Велике-зрачне носеће греде са дугим ходом и екстра-велики квадратни радни столови са ваздушним лежајевима могу се обрадити од једног каменог отвора да би се постигле бешавне монолитне структуре. Спојене структуре неизбежно садрже празнине у интерфејсу који лако изазивају цурење гаса. Поред тога, недоследна крутост на зглобовима доводи до неуједначених деформација под дуготрајним-оптерећењима. Компоненте монолитног црног гранита избегавају горе наведене недостатке уз уравнотежену укупну крутост и јединствену референтну прецизност. Уз подршку класе 10.000 са константном{{10}температуром и влагом у радионици за чишћење, ми спроводимо ултра{11}}прецизно преклапање и више{12}}тестирање тачности како бисмо гарантовали да равност и валовитост радних столова испуњавају строге спецификације површине потребне за рад ваздушних лежајева.
Ниједан материјал не може да одговара свим условима рада. Ипак, за платформе за кретање са ваздушним лежајевима које захтевају суб-микронску и нанометарску прецизност, црни гранит интегрише више карактеристика укључујући ниску експанзију, високо пригушење, ниску порозност, стабилне физичко-хемијске перформансе и изводљивост за-монолитну машинску обраду великих размера, пружајући незаменљиву свеобухватну предност. УНПАРАЛЛЕЛЕД континуирано оптимизује технологију обраде црног гранита. Развијамо ексклузивна решења за обраду која циљају на жлебове за довод ваздуха, заптивне површине и референце за монтажу платформи са ваздушним лежајевима, и обезбеђујемо дугорочно-стабилна решења за референтне компоненте од гранита за врхунске-платформе за кретање ваздушних лежајева.