У немилосрдној потрази за 2нм процесним чвором и даље, индустрија полупроводника се често фокусира на вакуумске системе, ЕУВ изворе светлости и софистициране сензоре. Међутим, најкритичнији "тихи партнер" у овој једначини је механичка основа. Пошто опрема за инспекцију плочица захтева резолуцију испод-нанометара, структурни интегритет који обезбеђује гранитна метролошка база илиепоксидна гранитна базаје постао одлучујући фактор у постизању поновљиве прецизности.
Изазов модерне инспекције плочица
За метрологију полупроводника, примарни непријатељи су вибрације и термичка нестабилност. Како се скенери и алати за инспекцију крећу већим брзинама да би повећали пропусност, они стварају инерционе силе које могу угрозити тачност мерења. Стандардни оквир од челика или ливеног гвожђа-, иако је робустан, нема унутрашње пригушење неопходно да би се ове микро-вибрације довољно брзо распршиле за потребе скенирања следеће-генерације.
Овде материјална наука која стоји иза решења УНПАРАЛЛЕЛЕД постаје витална. Пружајући огромну, ултра{1}}стабилну платформу, обезбеђујемо да степен ваздушног лежаја може да ради са врхунским перформансама без спољашњих или унутрашњих сметњи.
Природни гранит наспрам епоксидног гранита: одабир праве подлоге
У УНПАРАЛЛЕЛЕД Гроуп нудимо природна и синтетичка решења, јер свако има посебну улогу у високо{0}}прецизном екосистему.
1. Трајна изврсност природног гранита. Дуги низ година, гранитна метролошка база је златни стандард. Његова примарна предност лежи у екстремној димензионалној стабилности и ниском коефицијенту топлотног ширења. Пошто је природни гранит старио милионима година, ослобођен је унутрашњих напрезања. За статичку метрологију или алате који захтевају највиши степен равности површине (често степен 000), природни гранит остаје непобедив.
2. Инжењерска флексибилност епоксидног гранита Како дизајн опреме за инспекцију плочица постаје сложенији, базе епоксидног гранита (минерално ливење) добијају значајну вучу. Овај материјал се састоји од одабраних камених агрегата везаних смолама високих{2}}перформанси.
Изузетно пригушење: Епоксидни гранит има стопу{0}}пригушења вибрација скоро десет пута бољу од ливеног гвожђа и знатно већу од природног камена. Ово омогућава бржа „времена поравнања“ за степен-брзине ваздушног лежаја.
Интеграција: Можемо да убацимо сложене карактеристике директно у базу-као што су цеви за расхладну течност, уметци са навојем и проводници каблова- чиме се смањују „укупни трошкови поседовања“ за ОЕМ произвођаче.
Оптимизација интерфејса за ваздушни лежај
Степен који носи ваздух је добар онолико колико је добра површина на којој лебди. У полупроводничким апликацијама, ваздушни зазор је често мањи од 10 микрометара. Свако одступање у равности основе резултира директном грешком у фокалној равни плочице.
УНПАРАЛЛЕЛЕД користи напредне технике ручног{0}}преклапања у комбинацији са ласерском интерферометријом како би се осигурало да наше базе пружају скоро-савршену раван. Интегрисањем основе и вођице кретања у једну, кохезивну целину, минимизирамо нагомилавање-механичких толеранција. Овај холистички приступ је разлог зашто се водећи произвођачи полупроводничке опреме удаљавају од вишеделних-комплета ка интегрисаном минералном ливењу или монолитним гранитним структурама.
Непревазиђена предност у глобалној метрологији
Глобални ланац снабдевања полупроводницима захтева више од само добављача компоненти; за то је потребан партнер који разуме нијансе компатибилности чистих просторија, стандарде за испуштање гасова и дугорочну{0}}поузданост геометрије. Стручност УНПАРЛЕЛЕД Гроуп у области ливења природног камена и минерала омогућава нам да понудимо непристрасне техничке консултације нашим клијентима.
Од почетне анализе коначних елемената (ФЕА) до коначног прецизног преклапања, наш процес је дизајниран да осигура да ваш полупроводнички метролошки алат испоручује највећи могући принос. У индустрији у којој је сваки нанометар битан, ми обезбеђујемо стабилност на којој можете да градите.
Закључак: Инжењеринг будућности стабилности
Еволуција опреме за инспекцију плочица наставиће да помера границе физике. Без обзира да ли ваша апликација захтева класичну стабилност гранитне метролошке базе или високу-пригушеност, сложене геометријеепоксидна гранитна база, УНПАРАЛЛЕЛД Гроуп стоји на челу ове основне технологије. Позивамо инжењере и систем интеграторе да истраже како наши материјали могу да смање буџет за грешке својих система следеће{1}}генерације.