У индустрији полупроводника и ултра{0}}прецизне производње, потрага за пропусношћу никада не сме бити на штету приноса. Како се силицијумске плочице скупљају, а густине компоненти на штампаним плочама (ПЦБ) нагло расту, аутоматизована оптичка инспекција (АОИ), брзи КСИ столови за позиционирање-и под-микронски системи литографије су гурнути до својих физичких граница.
На овом нивоу производње, највећи непријатељ пропусности, поновљивости и приноса нису топлота или прашина-већ микро-вибрације.
Амплитуде вибрација мерене у само нанометрима могу изазвати замућење оптичких сензора,ласерски интерферометрида бисте изгубили калибрацију и{0}}брзи портали да бисте имали кашњења у решавању. Да би постигли нанометарски{2}}ниво поновљивости, инжењери морају да гледају даље од активних пригушних носача и да се позабаве самим основама машине.
Извори микро-вибрација у прецизним окружењима
Пре дизајнирања стратегије ублажавања, кључно је класификовати изворе механичких поремећаја који муче модерне чисте просторије.
| Категорија извора вибрација | Типично порекло | Утицај на прецизну опрему |
| Интерно (само{0}}индуковано) | Линеарни{0}}брзи мотори, успорење портала, вентилатори за хлађење, пнеуматски вентили | Изазива кашњење у слагању портала, уништава стабилност серво{0}}петље и смањује динамичку равност. |
| Екстерни (еколошки) | Пешачки саобраћај, оближњи ХВАЦ системи, густ друмски саобраћај, суседне ЦНЦ машине | Уводи континуиране, непредвидиве ниско{0}}хармонске осцилације које уништавају статичку метрологију. |
| Ацоустиц Цоуплинг | Бука надземне дизалице, турбуленција клима уређаја, људски гласови | Таласи директног притиска вибрирају осетљиве оптичке елементе и кућишта сензора. |
Ограничења самог активног пригушења
Многи дизајнери машина се ослањају искључиво на активне пнеуматске или електромагнетне системе за пригушивање уграђене испод оквира машине. Иако су ови системи веома софистицирани, они нису сребрни метак.
Активни системи имају ограничено време одзива (латенцију) и боре се са ниским{0}}вибрацијама (обично испод 5 Хз). Ако се под испод машине стално савија или преноси вибрације са оближњег пристаништа за транспорт, активни носачи за пригушивање су приморани да раде непрекидно. Ова стална повратна спрега може да уведе секундарни високофреквентни шум у структуру машине.
Да би се заиста елиминисале микро-вибрације, основа машине мора да поседује огромну инерцију и структурне карактеристике пригушења-инхерентне у-црном граниту високе густине-, а само производно окружење мора да изолује производни процес од земље.
Пројектовање ултра{0}}стабилне основе: индустријски златни стандард
Да би се изградиле најстабилније гранитне подлоге на свету и склопови портала са ваздушним{0}}носивима, производно окружење мора бити пројектовано једнако ригорозно као и сам производ. Овде постаје јасна разлика између типичног произвођача камена и партнера за прецизност светске{2}}класе.
У УНПАРАЛЛЕЛЕД Гроуп схватамо да не можете произвести оно што не можете да измерите и не можете да мерите у нестабилном окружењу. Да бисмо осигурали да наше гранитне компоненте обезбеђују апсолутну структурну тишину, конструисали смо наше постројење за монтажу од 10.000 ㎡ константне-температуре и константне{4}} влаге са неупоредивом одбраном од вибрација:
Масивна под{0}}Изолација пода: Под у нашој радионици је изливен војним- ултра-комплетним бетоном до дебљине не мање од 1000 мм. Овај масивни бетонски блок делује као џиновски нископропусни{5}}филтер, апсорбујући и распршујући сеизмичке таласе високе{6}}пре него што дођу до наших места за монтажу и калибрацију.
Периферни ровови против-вибрационих ровова: Око целог периметра наших просторија са константном-температуром налазе се специјализовани ровови за изолацију вибрација ширине 500 мм и дубине 2000 мм. Ови дубоки ровови физички одвајају бетонски под наше прецизне зоне од остатка фабрике, стварајући изоловано острво отпорно на саобраћај виљушкара или спољно подрхтавање тла.
Акустички нечујне дизалице: Стандардне мостне порталне дизалице генеришу значајну{0}}шуму зупчаника високе фреквенције и мотора која се акустички спаја са гранитним компонентама током монтаже. Да би се ово спречило, све дизалице у нашим чистим просторијама су прилагођене-дизајниране тихе мостне дизалице, које држе акустичну турбуленцију на апсолутном минимуму.
Симулиране полупроводничке чисте собе: Наш финални склоп портала и ваздушних лежајева одвија се у наменским окружењима-без прашине, константне-температуре и константне-окружења која савршено симулирају фабрике полупроводника крајњег-корисника наших клијената, гарантујући да калибрациони фактор клијента директно преводи тачност пода у тачност пода.
Гранит-високе густине: врхунски природни пригушивач
Док изолација околине зауставља спољашње вибрације, сама база машине мора да расипа унутрашњу енергију коју стварају покретне осе.
УНПАРАЛЛЕЛЕД® црни гранит, са својом ултра-великом густином од приближно 3100 кг/м³, пружа изузетан однос масе-на-запремине. Његова јединствена, испреплетена кристална структура кварца и фелдспата показује природно унутрашње трење (хистерезу). Ово молекуларно трење апсорбује и пригушује хармонијске микро-вибрације много брже од ливеног гвожђа, челика или комерцијалног мермера.
Када линеарни мотор убрзава и успорава на УНПАРАЛЛЕЛЕД® гранитној подлози, време сталожења-време потребно да структура машине дође до потпуног мировања-без вибрација-своди се на скоро нулу. Ово се директно преводи у краће време циклуса и већу пропусност инспекције за АОИ и системе за склапање полупроводника.
Прецизност почиње на дну
Контролисање микро-вибрација није исправљање грешака након што је машина направљена; ради се о њиховом спречавању кроз педантно конструктивно инжењерство и науку о материјалима. Спајањем природних, високих{2}}пригушујућих својстава УНПАРАЛЛЕЛЕД® црног гранита са производним окружењем изолованим 2-метар-дубоким баријерама од вибрација и бетоном дебљине 1-метар-, ми испоручујемо структурну стабилност коју водећи светски технолошки брендови{{9}ти, као што су Самсунгли и АСМЛ, дају.
За дизајнере ултра{0}}прецизних машина, порука је јасна: када се ваше толеранције мере у нанометрима, ваша основа мора да буде НЕПРЕМЕРНО.